主要特性:
1、受反馈控制的碳棒蒸发系统可以在膜厚大约20nm左右进行多次蒸发,无须切削或调整碳棒形状;
2、108C中使用的高纯碳棒可以在高倍条件下得到高质量的镀膜效果。该镀膜系统结构紧凑,容易操作,抽真空周期短;
3、使用新型的蒸发装置:电流和电压通过磁控头的传感线监控,蒸发源作为反馈回路中的一部分被控制。该蒸发装置使常规的碳棒具有优良的稳定性和重现性。功率消耗低,碳棒具有优异的重新蒸镀特性。蒸发源可以通过脉冲或连续的方式操作;
4、可选择手动或自动方式操作;
5、自动模式下,蒸发源按程序设定的电压和时间进行喷镀。手动模式下,设计允许以脉冲或连续的方式操作,并通过旋钮控制输出电压。
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