深圳市璟晨实业发展有限公司

电容位移传感器广泛用于金属薄片厚度测量，振动测量，工作台垂直度(Straighness)和平坦度(flatness)测量，精密马达转轴偏振测量(Axial、Radial、Spindle runout)，精密仪器工作平台定位，设备自动测量(微影设备，原子力显微镜，光罩探测，图像确认，LCD生产设备…)

设备性能及主要参数：
1、量程：±25µm 到±1000µm满量程测量
2、分辨率：优于2 nm (r.m.s.) @ 1 kHz
3、带宽：1 kHz、5 kHz、20 kHz、100 kHz 可选

电容位移传感器特性：
1、非接触式电容式微位移测量—准确的电子感应技术，无损样品测量；
2、优化的近距离测量—测量距离在10微米到5毫米；
3、高准确性，高灵敏性测量，精度可达0.5nm；
4、可探测任何可传导性、接地的测量目标—表面是否抛光以及材质对测量准确度无任何影响。

电容位移传感器特点
1、高灵敏度：对于微小位移有较好的检测能力，能精确测量。
2、结构简单：一般由j板和相关的电路组成，结构紧凑。
3、动态响应好：能够快速跟踪位移的变化，可用于动态测量。
4、适应性强：可以在不同的环境条件下工作，不过要注意温度、湿度等对介电常数等因素的影响。

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